Taramalı Elektron Mikroskobu
Scanning Electron Microscope (SEM)
|
| Elektron Kaynağı Gerilim |
:Tungsten filament :500 V – 30 kV |
| Dedektörler | :SE (Secondary Electron) |
| BSE (Back Scattered Electron) EDX (Energy Dispersive X-ray) VPSE (Variable Pressure Secondary Electron) |
Çalışma Prensibi:
SEM’de, yüksek enerjili elektronlar numune ile etkileşerek elektron ve foton sinyalleri oluşturur. Farklı açılarda saçılan elektronlar, dedektör (algılayıcı) tarafından toplanır ve toplanan sinyallerin mikroskop yazılımı ile işlenmesi sonucunda görüntüler elde edilir. İkincil elektronlar, malzeme topografisi ve geri saçılan elektronlar, atom numarasına ve kontrasta bağlı atomik kompozisyon hakkında bilgi vermektedir. Ayrıca EDS dedektör ile noktasal, çizgisel veya bölgesel nitel ve nicel analiz ile elementlerin dağılım haritalaması yapılmaktadır.
SEM’de incelenen numuneler:
İletken örnekler
Kaplama yapılmış yalıtkan örnekler
Toz örnekler
İnce filmler
Biyolojik örnekler
Polimerler
Çapları 9-15 mm arasında, kalınlıkları 0.1-30 mm arasında olan katı veya toz numuneler incelenebilir. Numunelerin iletken olmaları gerekmektedir. İletken olmayan numuneler 5-16 nm altın kaplanarak incelenebilmektedir. Yapısında sıvı bulunduran numuneler yüksek vakum ortamına zarar verdikleri için kritik nokta kurutucusu ile yapılarında bulunan sıvı uzaklaştırılarak mikroskopta incelenecektir. VPSE dedektörü ile iletken olmayan numuneler kaplama yapılmaksızın incelenebilmektedir.